د سیمی کنډکټر (FAB) پاکې کوټې کې د نسبي رطوبت هدف ارزښت

د سیمی کنډکټر (FAB) پاکې کوټې کې د نسبي رطوبت هدف نږدې 30 څخه تر 50٪ پورې دی، چې د ± 1٪ د خطا محدود حد ته اجازه ورکوي، لکه د لیتوګرافي زون کې - یا حتی د لرې الټرا وایلیټ پروسس (DUV) کې لږ زون - پداسې حال کې چې بل چیرې دا ± 5٪ ته آرام کیدی شي.
ځکه چې نسبي رطوبت یو لړ فکتورونه لري چې کولی شي د پاکو خونو عمومي فعالیت کم کړي، په شمول:
1. د باکتریا وده؛
2. د کارمندانو لپاره د خونې د تودوخې د آرامۍ سلسله؛
3. الیکتروسټیک چارج څرګندیږي؛
4. فلزي زنگ;
5. د اوبو بخارۍ کنډریشن؛
6. د لیتوګرافي تخریب؛
7. د اوبو جذب.

باکتریا او نور بیولوژیکي ککړونکي (مولډ، ویروسونه، فنګسي، مایټونه) کولی شي په چاپیریال کې د 60٪ څخه ډیر نسبي رطوبت سره وده وکړي. د باکتریا ځینې ټولنې کولی شي په نسبي رطوبت کې له 30٪ څخه ډیر وده وکړي. شرکت په دې باور دی چې رطوبت باید د 40٪ څخه تر 60٪ پورې کنټرول شي، کوم چې کولی شي د باکتریا او تنفسي انتاناتو اغیز کم کړي.

د 40٪ څخه تر 60٪ پورې نسبي رطوبت هم د انسان د آرامۍ لپاره معتدل حد دی. ډیر رطوبت کولی شي خلک د ستړیا احساس وکړي، پداسې حال کې چې د 30٪ څخه کم رطوبت کولی شي خلک وچ، ټوټه شوي پوستکي، تنفسي تکلیف او احساساتي ناخوښي احساس کړي.

لوړه رطوبت په حقیقت کې د کلین روم په سطحه د الکتروسټټیک چارجونو راټولول کموي - مطلوب پایله. ټیټ رطوبت د چارج راټولولو او د الیکٹرو اسټاټیک خارج کیدو احتمالي زیان رسونکي سرچینې لپاره مثالی دی. کله چې نسبي رطوبت له 50٪ څخه ډیر شي، د الکترو سټیټیک چارجونه په چټکۍ سره له مینځه وړل پیل کوي، مګر کله چې نسبي رطوبت له 30٪ څخه کم وي، دوی کولی شي د اوږدې مودې لپاره په انسولټر یا بې بنسټه سطح کې دوام وکړي.

د 35٪ او 40٪ ترمنځ نسبي رطوبت د قناعت وړ موافقت په توګه کارول کیدی شي، او د سیمی کنډکټر پاکې خونې عموما اضافي کنټرولونه کاروي ترڅو د بریښنایی چارجونو راټولول محدود کړي.

د ډیری کیمیاوي تعاملاتو سرعت، د ککړتیا پروسې په شمول، د نسبي رطوبت زیاتوالي سره به وده ومومي. ټولې سطحې چې د پاکې خونې په شاوخوا کې هوا سره مخ کیږي ګړندي دي.