په یوه سیمیکمډکټر (FAB) پاکه خونه کې د نسبي رطوبت هدف ارزښت نږدې 30 څخه تر 50٪ پورې دی، چې د ±1٪ د غلطۍ محدود حاشیه ته اجازه ورکوي، لکه په لیتوګرافي زون کې - یا حتی لږ د لرې الټرا وایلیټ پروسس (DUV) زون کې - پداسې حال کې چې په نورو ځایونو کې دا ±5٪ ته آرام کیدی شي.
ځکه چې نسبي رطوبت یو لړ عوامل لري چې کولی شي د پاکو خونو ټولیز فعالیت کم کړي، په شمول د:
۱. د باکتریا وده؛
۲. د کارمندانو لپاره د خونې د تودوخې د آرامۍ حد؛
۳. الیکټروسټاټیک چارج څرګندیږي؛
۴. د فلزاتو زنګ وهل؛
۵. د اوبو بخاراتو کموالی؛
۶. د لیتوګرافي تخریب؛
۷. د اوبو جذب.
باکتریا او نور بیولوژیکي ککړونکي مواد (فنګسونه، ویروسونه، فنګسي، مایټس) کولی شي په هغه چاپیریال کې وده وکړي چې د 60٪ څخه ډیر نسبي رطوبت ولري. ځینې باکتریا ټولنې کولی شي د 30٪ څخه ډیر نسبي رطوبت کې وده وکړي. شرکت باور لري چې رطوبت باید د 40٪ څخه تر 60٪ پورې کنټرول شي، کوم چې کولی شي د باکتریا او تنفسي انتاناتو اغیز کم کړي.
د ۴۰٪ څخه تر ۶۰٪ پورې نسبي رطوبت هم د انسان د آرامۍ لپاره یو معتدل حد دی. ډیره رطوبت کولی شي خلک د بندښت احساس وکړي، پداسې حال کې چې د ۳۰٪ څخه کم رطوبت کولی شي خلک وچ، د پوستکي ټوټې، تنفسي تکلیف او احساساتي ناخوښۍ احساس کړي.
لوړ رطوبت په حقیقت کې د پاکې خونې په سطحه د الکتروسټاتیک چارجونو راټولیدل کموي - یو مطلوب پایله. ټیټ رطوبت د چارج راټولیدو لپاره مثالی دی او د الکتروسټاتیک خارجیدو احتمالي زیان رسونکی سرچینه ده. کله چې نسبي رطوبت له 50٪ څخه ډیر شي، الکتروسټاتیک چارجونه په چټکۍ سره له مینځه تلل پیل کوي، مګر کله چې نسبي رطوبت له 30٪ څخه کم وي، دوی کولی شي د اوږدې مودې لپاره په انسولټر یا بې ځمکې سطحه کې دوام وکړي.
د 35٪ او 40٪ ترمنځ نسبي رطوبت د قناعت وړ جوړجاړي په توګه کارول کیدی شي، او د سیمیکمډکټر پاکې خونې عموما د الکتروسټاتیک چارجونو راټولیدو محدودولو لپاره اضافي کنټرولونه کاروي.
د ډېرو کیمیاوي تعاملاتو سرعت، په شمول د زنګ وهلو پروسو، د نسبي رطوبت د زیاتوالي سره به زیات شي. د پاکې خونې شاوخوا ټولې سطحې چې هوا ته مخامخ کیږي چټکې وي.
د پوسټ وخت: مارچ-۱۵-۲۰۲۴